Karvio dvaro savininkas Točilauskis 1779 m. pastatė medinę bažnyčią. Jai paskirtas Masionių palivarkas ir Karvio kaimas (4 valakai). 1783 m. įkurta parapija (iki tol buvo Maišiagalos parapijos filija). 1861 m. bažnyčia sudegė. Jos vietoje 1862–1865 m. pastatyta dabartinė mūrinė bažnyčia. XIX a. pab.-XX a. pradžioje parapijiečiai kalbėjo lietuviškai.